扫描电镜-超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700

EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

强大的显示及交互特性

原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。
6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集，带来更多信息。
单次扫描**支持 40,960×30,720 的超高像素*

电子光学系统	二次电子分辨率	0.8 nm@15 kV
	二次电子分辨率	0.9 nm@1 kV
	放大倍率	20 ~ 2,000,000 x
	电子枪	肖特基场发射电子源
	加速电压	0.1 ~ 30 kV
	着陆电压1,3	0.01 ~ 7 kV
	**束流	200 nA
探测器	标配探测器	上探测器（UD）
	标配探测器	下探测器（LD）
	选配探测器*3	镜筒内背散射电子探测器（MD）
		半导体式背散射电子探测器（PD-BSE）
		高灵敏低真空探测器（UVD）
		扫描透射探测器（STEM）
	选配附件*2	X射线能谱仪（EDS）
	选配附件*2	电子背散射衍射探测器(EBSD)
样品台	马达驱动轴	5轴马达驱动
	移动范围
	X	0 ~ 110 mm
	Y	0 ~ 110 mm
	Z	1.5 ~ 40 mm
	T	-5 ~ 70°
	R	360°
样品室	样品尺寸	*直径：150 mm4
低真空模式	真空范围	5 ~ 300 Pa

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