扫描电镜-日立FlexSEM1000 II钨灯丝扫描电镜

FlexSEM1000 II是日立**的落地式小型钨灯丝扫描电镜，具有体积小、操作简单、性能强、扩展功能丰富等特点。FlexSEM1000 II配备了二次电子探测器和背散射电子探测器，可以观察样品的形貌和成分；同时具有低真空功能，可以直接观察不导电样品和含水样品；配合新增的SEM-MAP光镜导航和5轴样品台可以快速、高效的完成观察任务。

主要特点：

1. 体积小、操作简单、性能强（4nm@20kV）、扩展功能丰富

2. 拥有多个探测器（SE、BSE）

3. 拥有低真空功能，不导电和含水样品直接观察

4. 标配五轴样品台（三轴马达）

5. 可选可变压力探测器UVD，实现高真空光信号（如CL）观察

6. 可选SEM-MAP光镜导航功能

7. 报告导出功能

项目	内容
分辨率*3	4.0 nm（二次电子像、加速电压：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次电子像、加速电压：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射电子像、加速电压：20 kV、低真空模式）
加速电压	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （显示器显示倍率）
低真空设置	6～100 Pa
电子枪	集中灯箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
样品台	3轴马达驱动样品台 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° *可观察范围：直径64mm（R联用）4
**样品尺寸	直径80 mm（选配：直径153mm）
**样品高度	40 mm
尺寸	机体：450（宽度）×640（进深）×690（高度） mm 电源盒：450（宽度）×640（进深）×450（高度） mm
选项	高敏感度低真空检测器（UVD2.0）能量色散型X射线检测器（EDS）
软件	Multi Zigzag（连续视野图像导入功能）

应用领域：材料科学、生命医学、食品卫生、半导体电子元器件、汽车制造

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